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NEXIV VMR 系統
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NIKON NEXIV VMR 影像量測系列

一,特點:這是一台自動量測時不需要人員在機器旁等候的CNC影像量測系統,可減少人員需求的量測儀器

1,真正三D量測軟體,XY、YZ、ZX投影面及3D量測作圖與分析

2,同軸雷射系統,可做Z軸快速對焦及2D掃瞄

3,多種光學鏡頭設計,提供多種工件需求(明視野、暗視野、干涉位相差等影像效果)

4,程控多固定倍率(類似金相工具顯微鏡鏡頭),倍率精度佳固定

5,多種光源設計,對於困難工件提供良好照明

6,超出影像範圍3倍自動搜尋量測位置(PMM功能影像搜尋功能),可不需治具量測,減少治具費用

7,高精度,也可選擇超高精度機種

8,教導式程式寫作方便簡易,傳承容易

9,可設定尋邊條件(當有多個邊界時),CNC時避免尋錯邊界,導致量測錯誤

10,CNC量測速度快速,達300m/sec,工件不易滑動

11,量測程式可做多個迴圈、小程式、多個座標系統及LINK其他量測程式

12,中文化介面,使用者權限,Excel DDE Link等方便功能

13,多種量測結果報告,包括指定格式、指定位置輸入(Excel)

14,有OFF LINE程式設計(可在其他電腦設計量測程式)及雙向支援CAD/CAN

15,多種量測行程可供選擇(150mm~1200mm)

二,機型、量測行程與精度:

機型 VMR-H3030 VMR-1515 VMR-3020 VMR-6555 VMR-10080 VMR-12072
量測行程 300X300X150mm 150X150X150mm 300X200X150mm 650X550X150mm 1000X800X150mm 1200X720X150mm
最小讀取值 0.01 um 0.1 um 0.1 um 0.1 um 0.1 um 0.1 um
量測精度 Ux1y1 : 0.6+2L/1000 um Ux1y1 : 1.5+4L/1000 um Ux1y1 : 1.5+4L/1000 um Ux1y1 : 1.5+2.5L/1000 um Ux1y1 : 2+4L/1000 um Ux1y1 : 2.2+4L/1000 um
Ux2y2 : 0.9+3L/1000 um Ux2y2 : 2.5+4L/1000 um Ux2y2 : 2.5+4L/1000 um Ux2y2 : 2.5+2.5L/1000 um Ux2y2 : 3+4L/1000 um Ux2y2 : 3.2+4L/1000 um
Uz : 0.9+L/150 um Uz : 1.5+L/150 um Uz : 1.5+L/150 um Uz : 1.5+L/150 um Uz : 1.5+L/150 um Uz : 1.5+L/150 um
鏡頭系統(光學) Type 1,2,3 Model Type 1,2,3 Model Type 1,2,3 Model Type 1,2,3 Model Type 1,2,3 Model Type 1,2,3 Model
Z120X Model Z120X Model Z120X Model Z120X Model Z120X Model Z120X Model
  LU Model LU Model  LU Model LU Model LU Model

三,光學鏡頭及光源系統:

1,Type 1,2,3 Models:影像效果--明視野 BF、立體顯微鏡影像

倍率視野表:

光源系統:

TTL同軸雷射系統:

2,Z120X Model:影像效果--明視野 BF、暗視野 DF

倍率視野表:

光源系統:同軸光源系統

TTL同軸雷射系統:

3,LU Model (金相顯微鏡鏡頭:CFI60 LU鏡頭):影像效果--明視野 BF、暗視野 DF、干涉位相差 DIC

高解像力,導電膜量測及導電粒子觀察、半導體、LCD及觸控面板適用

倍率表:

四,特殊功能:

1,APS(Auto Position Search):自動軸向校正

2,MPS(Multi-Pattern Search):影像搜尋功能

3,PMM(Pattern Matching Measurement):影像比對功能

可控制相似度比率等,進行影像比對及搜尋

可擴大3倍影像範圍(視野外),以九格方式搜尋需要的影像

五,其他:

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