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Motic PSM-1000 工業顯微鏡
產品簡介
全新的一體化設計,具有優異的光學成像質量,方便使用的正像光學系統,是理想的檢測半導體器件的工具,支持3種激光波長,可在半導體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術。可以廣泛應用於半導體、電子、冶金等行業的製造和研究領域。
描述
●
人機工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-
30°轉動,調整觀察眼點的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適。
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管鏡
PSM-1000的管鏡轉盤上裝有1X
NUV、1X NIR和2X管鏡,三組管鏡之間可以根據需要進行切換,切換簡單、方便。
其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優化,1X
NIR對532nm和1064nm波長進行了優化,當使用這3個波長的雷射器時,可以得到更好的鐳射透過率。
●
光路切換拉杆
通過推拉光路轉換拉杆可以方便的對光路進行切換。 當轉換拉杆往外拉時,雙目頭和攝像介面的分光比為0:100,此時從攝像介面上入射的鐳射100%的進入光路,提高了鐳射效率;當轉換器拉杆往裡推時,雙目頭和攝像介面的分光比為50:50,此時即可用雙目頭觀察,
同時也可以在攝像介面上使用CCD攝像頭或雷射器。
●
偏光觀察
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進行偏光觀察。
●
調焦機構
PSM-1000的調焦機構轉動舒適,工作可靠。
調焦機構最大可承載45磅(20.4Kg),確保安裝雷射器和CCD攝像頭後,仍然能夠正常工作。
●
轉換器
PSM-1000採用4孔可調中轉換器,使用隨機配送的調中鑰匙,可以很方便地調整物鏡的齊中。
●
物鏡
PSM-1000採用長工作距離的無應力平場複消色差物鏡,提供了優異的成像品質。
關於物鏡的具體參數請參照APO物鏡樣本。
●
數碼攝像系統
根據所使用的CCD攝像機的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,安裝在攝像介面上,組成數碼攝像系統,就可以在電腦、電視或監視器上同步觀察。
●
照明系統
採用同軸垂直照明系統,光源採用外置冷光源。
長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。
●
探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上,進行矽片的測試。
●
鐳射裝置
PSM-1000的攝像介面處裝有鐳射安全定位銷,雙目頭前留有安裝鐳射安全濾色片的位置,並提供補償墊片。
無需專用的鐳射工具箱,就可以方便的把雷射器和鐳射安全濾色片安裝上。
注:在安裝和使用雷射器之前,請您仔細閱讀雷射器和鐳射安全濾色片的使用手冊。
由於在PSM-1000上使用雷射器和鐳射安全濾色片而產生的安全和性能問題,麥克奧迪實業集團有限公司對此概不負責。
鏡頭系統:
Lens optical character |
Magnification |
N.A. |
W.D. (mm) |
Resolution (um) |
ELWD Standard |
2x |
0.055 |
34.0 |
5.0 |
5x |
0.140 |
34.0 |
2.0 |
10x |
0.280 |
33.5 |
1.0 |
20x |
0.420 |
20.0 |
0.7 |
50x |
0.550 |
13.0 |
0.5 |
100x(HNA) |
0.8 |
3.0 |
0.34 |
ELWD Parfocality Adjustable |
2x |
0.055 |
34.0 |
5.0 |
5x |
0.140 |
34.0 |
2.0 |
10x |
0.280 |
33.5 |
1.0 |
20x |
0.420 |
20.0 |
0.7 |
ULWD Stardard |
50x |
0.420 |
20.5 |
0.7 |
100x |
0.550 |
13.0 |
0.5 |
NIR |
20x |
0.400 |
20.5 |
0.7 |
50x |
0.420 |
19.0 |
0.7 |
規格說明
PSM-1000
主要技術參數
|
鉸鏈式三目頭 |
圖像 |
正像 |
瞳距 |
調節範圍55-75mm |
視場直徑 |
24mm |
分光比 |
可通過光路切換拉杆自由切換(雙目頭:第三目=100:0或50:50) |
主體 |
管鏡 |
1X
(可對紫外及紅外線進行優化),2X |
鐳射的使用 |
拉出光路切換拉杆即可 |
|
可應用的鐳射 |
1064/532/355 nm NWR laser |
|
調焦機構 |
粗微調手輪 |
調焦行程:50mm;粗動手輪4mm/轉;微動手輪0.1mm/轉 |
調焦機構最大承重量 |
20.5kg |
攝像接頭 |
C-Mount
接頭 |
照明系統 |
同軸垂直照明,可變孔徑光欄 |
冷光源(選配) |
150W
冷光源照明器及工業顯微鏡光纖(2m) |
物鏡轉換器 |
四孔物鏡轉換器,中心可調,可拆卸 |
物鏡(選配) |
長工作距離平復消色差物鏡 |
2X, 5X, 10X, 20X, 50X |
超長工作距離複消色差物鏡 |
50X, 100X |
可調焦長工作距離複消色差物鏡 |
2X, 5X, 10X, 20X, 50X |
可調焦超工作距離複消色差物鏡 |
50X, 100X |
NIR
超長工作距離複消色差物鏡 |
20X, 50X |
重量 |
主體:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg |
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