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PSM-1000工業顯微鏡
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Motic PSM-1000 工業顯微鏡

           

產品簡介


新的一體化設計,具有優異的光學成像質量,方便使用的正像光學系統,是理想的檢測半導體器件的工具,支持3種激光波長,可在半導體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術。可以廣泛應用於半導體、電子、冶金等行業的製造和研究領域。

 

描述

人機工程頭部
PSM-1000E
雙目觀察頭可以在3°- 30°轉動,調整觀察眼點的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適。

管鏡
PSM-1000
的管鏡轉盤上裝有1X NUV1X NIR2X管鏡,三組管鏡之間可以根據需要進行切換,切換簡單、方便。 其中1X NUV355nm532nm波長進行了優化,1X NIR532nm1064nm波長進行了優化,當使用這3個波長的雷射器時,可以得到更好的鐳射透過率。

光路切換拉杆
通過推拉光路轉換拉杆可以方便的對光路進行切換。 當轉換拉杆往外拉時,雙目頭和攝像介面的分光比為0100,此時從攝像介面上入射的鐳射100%的進入光路,提高了鐳射效率;當轉換器拉杆往裡推時,雙目頭和攝像介面的分光比為5050,此時即可用雙目頭觀察, 同時也可以在攝像介面上使用CCD攝像頭或雷射器。

偏光觀察
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進行偏光觀察。

調焦機構
PSM-1000
的調焦機構轉動舒適,工作可靠。 調焦機構最大可承載45(20.4Kg),確保安裝雷射器和CCD攝像頭後,仍然能夠正常工作。

轉換器
PSM-1000
採用4孔可調中轉換器,使用隨機配送的調中鑰匙,可以很方便地調整物鏡的齊中。

物鏡
PSM-1000
採用長工作距離的無應力平場複消色差物鏡,提供了優異的成像品質。 關於物鏡的具體參數請參照APO物鏡樣本。

數碼攝像系統
根據所使用的CCD攝像機的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,安裝在攝像介面上,組成數碼攝像系統,就可以在電腦、電視或監視器上同步觀察。

照明系統
採用同軸垂直照明系統,光源採用外置冷光源。 長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)PSM-1000帶來更自由的操作空間。

探測工作站
PSM-1000
的主體部分可以安裝在探測工作站上,進行矽片的測試。

鐳射裝置
PSM-1000
的攝像介面處裝有鐳射安全定位銷,雙目頭前留有安裝鐳射安全濾色片的位置,並提供補償墊片。 無需專用的鐳射工具箱,就可以方便的把雷射器和鐳射安全濾色片安裝上。

:在安裝和使用雷射器之前,請您仔細閱讀雷射器和鐳射安全濾色片的使用手冊。 由於在PSM-1000上使用雷射器和鐳射安全濾色片而產生的安全和性能問題,麥克奧迪實業集團有限公司對此概不負責。

 

鏡頭系統:

Lens optical character

Magnification

N.A.

W.D. (mm)

Resolution (um)

ELWD Standard

2x

0.055

34.0

5.0

5x

0.140

34.0

2.0

10x

0.280

33.5

1.0

20x

0.420

20.0

0.7

50x

0.550

13.0

0.5

100x(HNA)

0.8

3.0

0.34

ELWD Parfocality Adjustable

2x

0.055

34.0

5.0

5x

0.140

34.0

2.0

10x

0.280

33.5

1.0

20x

0.420

20.0

0.7

ULWD Stardard

50x

0.420

20.5

0.7

100x

0.550

13.0

0.5

NIR

20x

0.400

20.5

0.7

50x

0.420

19.0

0.7

 

規格說明

PSM-1000 主要技術參數

鉸鏈式三目頭

圖像

正像

瞳距

調節範圍55-75mm

視場直徑

24mm

分光比

可通過光路切換拉杆自由切換(雙目頭:第三目=100:050:50

主體

管鏡

1X (可對紫外及紅外線進行優化),2X

鐳射的使用

拉出光路切換拉杆即可

 

可應用的鐳射

1064/532/355 nm NWR laser

 

調焦機構

粗微調手輪

調焦行程:50mm;粗動手輪4mm/轉;微動手輪0.1mm/

調焦機構最大承重量

20.5kg

攝像接頭

C-Mount 接頭

照明系統

同軸垂直照明,可變孔徑光欄

冷光源(選配)

150W 冷光源照明器及工業顯微鏡光纖(2m

物鏡轉換器

四孔物鏡轉換器,中心可調,可拆卸

物鏡(選配)

長工作距離平復消色差物鏡

2X, 5X, 10X, 20X, 50X

超長工作距離複消色差物鏡

50X, 100X

可調焦長工作距離複消色差物鏡

2X, 5X, 10X, 20X, 50X

可調焦超工作距離複消色差物鏡

50X, 100X

NIR 超長工作距離複消色差物鏡

20X, 50X

重量

主體:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg

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